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氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用在擴(kuò)散爐、氧化退火爐、PECVD等多種設(shè)備中，對氮?dú)狻⒀鯕獾榷喾N氣體的流量進(jìn)行精確測量和控制，以降低損耗，提高產(chǎn)能。