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真空計(jì)、真空規(guī)可應(yīng)用在長(zhǎng)晶設(shè)備、截?cái)嘣O(shè)備、擴(kuò)散爐、檢測(cè)設(shè)備等多種設(shè)備中，對(duì)腔室內(nèi)的氣體的真空度進(jìn)行精確測(cè)量，以提升產(chǎn)品質(zhì)量，降低能源消耗。